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真空镀膜加工表面的清洁处理非常重要，直接影响到电镀的产品品质。加工件进入镀膜室前请一定要做到认真的镀前清洁处理，表面污染来自工件在加工、传输、包装过程所粘附的各种粉尘、润滑油、 机油、抛光膏、油脂、汗渍等物，为了避免加工过程中造成的不良，真空镀加工厂家基本上可采用去油或化学清冼方法将其去掉。

对经过清洗处理的清洁表面，不能在大气环境中存放，要用封闭容器或保洁柜贮存，以减小灰尘的沾污。用刚 氧化的铝容器贮存玻璃衬底，可使碳氢化合物蒸气的吸附减至。因为这些容器优先吸附碳氢化合物。真空镀膜加工对于 高度不稳定的、对水蒸气敏感的表面，一般应贮存在真空干燥箱中。

真空镀膜设备在集成电路制造中的应用

　　1.晶体管路中的保护层（SiO2、Si3N4）、多弧离子镀膜机电极管线（多晶硅、铜及其合金）等多是采用CVD技术、PVCD技术、真空蒸发金属技术、磁控溅射技术和射频溅射技术。可见气相沉积术制备集成电路的核心技术之一。

　　2.真空镀膜设备在传感器方面的应用

　　在传感器中，多采用那些电气性质相对于物理量、高真空镀膜机化学量及其变化来说，极为敏感的半导体材料。此外，其中大多数利用的是半导体的表面、界面的性质，需要尽量增大其面积，且能工业化、***格制作、因此采用薄膜的情况很多

镀层与镀膜的基本原理

A、原材料与基本原理：

　　原材料都是树脂、聚合物、铁氟隆、硅酮、、硅酸盐等，辅料、配方与量度有所不同。例添加的乳化剂，不同的量相调和，乳化出来的状态就不一样，水状、乳状、膏状都可以实现。这些物质经乳化破乳后，部份渗透或形成薄膜。

B、它们的特点和区别：

　　镀层：渗透功能好(要视原材料颗粒大小)，表面光滑度更优，对漆面较多“毛细孔”、粗糙、重喷过漆、漆面本身较硬需要增加光亮度的欧美车系漆面比较适用。

　　镀膜：而镀膜产品添加了成膜助剂与固化剂，真空镀膜厂家使其瞬间成膜，性质相应的发生了改变。例如硬度比封釉更高，对需要提升漆面硬度的漆面(如日韩车系)比较适用。

真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说，在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体（称基板、基片或基体）上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜。

真空镀膜技术具有下列优点：

(1)薄膜和基体选材广泛，薄膜厚度可进行控制，以制备具有各种不同功能的功能性薄膜。

(2)在真空条件下制备薄膜，环境清洁，薄膜不易受到污染，因此可获得致密性好、纯度高和涂层均匀的薄膜。