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真空镀膜技术可使用的材料广泛:可作为真空镀膜材料有几十种,包括金属、合金和非金属.真空镀膜加工还可以加工出多层结构的复合膜,满足对涂层各种不同性能的需求。真空镀膜技术性能优良:真空镀膜厚度远小于电镀层,但涂层的耐摩擦和耐腐蚀性能良好,孔隙率低,而且无氢脆现象,相对电镀加工而言可以节约大量金属材料。镀膜技术可以实现铝、钛、锆等镀层,甚至可以加硬和类金刚石涂层,这是十分难能可贵的。

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真空电镀的简单作用过程：真空电镀接通蒸发源交流电源，真空电镀蒸发料粒子熔化蒸发，真空电镀进入辉光放电区并被电离。真空电镀带正电荷的蒸发料离子，阴极吸引下，随同离子一同冲向工件，真空电镀当抛镀于工件表面上的蒸发料离子逾越溅失离子的数量时，真空电镀则逐渐堆积形成一层牢固粘附于工件表面的镀层。

真空镀膜所采用的方法主要有蒸发镀、溅射镀、离子镀、束流沉积镀以及分子束外延等。真空镀膜加工表面的清洁处理非常重要，直接影响到电镀的产品品质。加工件进入镀膜室前一定要做到认真的镀前清洁处理。真空镀膜更占有重要的地位。各种规模的继承电路。包括存贮器、运算器、告诉逻辑元件等都要采用导电膜、绝缘膜和保护作为制备电路的掩膜则用到铬膜。