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发布时间:2022-04-03 19:47:22
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镀膜工艺流程中工艺参数的控制和对膜层沉积的影响 :
靶功率;磁控溅射本身粒子初始动能比较小,离化率低,电源功率越大,溅射出的粒子的初始能量越大,靶材溅射量也越大,沉积速率越快,膜层容易上厚度和硬度,同时工件温升也大,过高的功率会使沉积速率太快,粒子来不及表面迁移和扩散,易形成阴影效应,膜层会比较疏松,应力较大。可以使高熔点(可高达3000°C以上)材料蒸发,并且能有较高的蒸发速度。
离子镀是真空镀膜工艺”的一项新发展。普通真空镀膜(亦称真空蒸镀)时,工件夹在真空罩内,当高温蒸发源通电加热后,促使待镀材料——蒸发料熔化蒸发。虽然化学汽相沉积也采用减压、低压或等离子体等真空手段,但一般真空镀膜是指用物理的方法沉积薄膜。由于温,蒸发料粒子获得一定动能,则沿着视线方向徐徐上升,后附着于工件表面上堆积膜。用这种工艺形成的镀层,与零件表面既无牢固的化学结合,有无扩散连接,附着能很差,有时就像桌面上落的灰尘一样,用手一摸也会擦掉。
离子镀工艺则有所不同,虽然也是在真空罩内进行的,但这时镀膜过程是以电荷传递的形式来实现的。也就是说,蒸发料的粒子作为带正电荷的高能离子在高压阴极(即工件)的吸引下,以很高的速度注入到工件表面。物理q相沉积法真空镀膜技术(由于这种方法基本上都是处于真空环境下进行的,因此称它们为真空镀膜技术)。相当于一个从g中射出的高速弹l头,可以穿入靶体很深,在工件上形成一种附着牢固的扩散镀层。
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