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蔡向荣 先生
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发布时间:2022-04-05 23:01:45
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真空镀膜之多弧离子镀 :
部分离子对阴极的轰击又使阴极斑点局部快速蒸发并在空间迅速离化,使这些阴极弧斑点变成微小蒸发源,这些微小蒸发源在磁场和屏蔽绝缘的作用下束缚在阴极靶面做无规则运动,从而形成大面积均匀的蒸发源,喷发出电子、离子、熔融的金属材料和原子。真空镀膜之多弧离子镀:该装置的优点是阴极电弧源既是蒸发源和离化源,又是加热源和轰击源,不用熔池,弧源可任意方位,多源布置。大部分是离子和熔融粒子,在偏压作用下,离子流在基体上凝聚成金属、合金或化合物薄膜。
物理l气相沉积法主要有真空蒸镀、溅射和离子镀。
真空蒸镀:在真空中加热使金属、合金或化合物蒸发,然后凝结在基体表面上的方法叫真空蒸镀。
溅射:溅射是利用高速正离子轰击某一靶材(阴极),使靶材表面原子以一定能量逸出,后在工件表面沉积的过程。
离子镀:离子镀借助于一种惰性气体的辉光放电使欲镀金属或合金蒸发离子化,并在这些荷能离子轰击基体(工件)表面并同时沉积在其上形成镀膜。
真空镀膜有三种形式,即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。
真空蒸镀是将沉积材料与工件同放在真空室中,然后加热沉积材料使之迅速熔化蒸发,当蒸发原子与冷工件表面接触后便在工件表面上凝结形成具有一定厚度的沉积层日。
光学薄膜有改变电磁波的路径的特性■光学薄膜很薄时就会产生干涉,当光学薄膜很厚时就产生不了干涉当我们把很薄的膜组合起来就有很多新的特性产生。
参数:E值:辐射率。辐射率是指透过玻璃的远红外线与入射远红外线之比。辐射率越小,通过膜层反射回去的热量越多,隔热效果越好。(E=0.0129R-6.75R2)
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