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发布时间:2022-04-08 04:03:43
物理l气相沉积(真空镀膜)基本方法 :
从被沉积物质的气化方式看,真空蒸镀为电阻加热、电子束加热、感应加热、激光加热等;真空蒸镀:在真空中加热使金属、合金或化合物蒸发,然后凝结在基体表面上的方法叫真空蒸镀。溅射的镀料原子不是靠加热方式蒸发,而是靠阴极溅射由靶材获得沉积原子;离子镀可以分为蒸发式或者溅射式,蒸发式为电阻加热、电子束加热、感应加热、激光加热等,溅射式由进入辉光放电空间的原子由气体提供,反应物沉积在基片上。
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PLD缺点:1、在镀膜过程中,薄膜会被沉积在薄膜上的等离子本管中产生的微粒、气态原子和分子降低质量,采取一定的措施后也
不能完全消除.2、在控制掺杂、生长平滑的多层膜等方面PLD生长部比较困难,因此进一步提高薄膜的质量会比较困难.
有机镀膜与无机镀膜的根本区别
有机物王要指含有碳、氢两种元素的化合物,容易氧化、可燃烧、会降解。有机物的熔点较低,一般不超过400℃,热稳定性差,容易受热分解。比如含有j基(Me化学式-CH3)的化合物,因成分中含有碳氢基团,都属于有机类物质。无机物指不含碳元素的纯净物,其特点:1。真空镀膜的形式:蒸发镀膜工艺原理:4)沉积原子之间产生两维碰撞,形成簇团,有的在表面停留一段时间后再蒸发。一般不含碳元素2。分子较小3。通常不可燃烧。如二氧化硅(SiO2),中文别名r石英砂,属于无机物。二氧化硅Sio2的熔点、沸点较高(熔点1723℃,沸点2230℃)。
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