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经营模式: | 生产加工 |
所在地区: | 广东 佛山 |
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蔡向荣 先生
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公司地址: | 广东省佛山市顺德区乐从镇良村工业区北区6号 |
发布时间:2022-05-14 03:04:37
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镀膜工艺流程中工艺参数的控制和对膜层沉积的影响 :
在膜层沉积时,用于增加离子能量,促进和改善薄膜生长,提高膜基结合力。
偏压越大离子附加能量越强,沉积过程中对膜层的轰击净化作用越明显,膜层越致密,同时颜色会越浅,膜层L值(亮度)会增加,显微硬度会增加、同时膜层外观粗糙度会变差,沉积过程中工件和膜层温升越大,偏压太大可能使工件变形受伤,或产生热应力崩膜。
靶基距:靶基距是影响成膜速率的重要因素之一,随着靶基距增加,被溅射材料射向基片时与气体分子碰撞的次数增多,同时等离子体密度也减弱,动能减少,沉积速率降低,但膜层外观较好。靶基距太小,沉积太快,工件温升大,膜层外观差。
占空比:占空比是指脉冲偏压的通断时间比,占空比越大,同一个周期时间内偏压输出时间越长,增大占空比可以提高离子轰击的能量,有利于提高膜基结合力和膜层致密性和膜层的硬度,但会提高工件的温升;减小占空比有利于***打火损伤和降低工件表面的温度、辉光放电清洗和离子轰击的效果。溅射过程是建立在气体放电基础上的,放电从低压下开始的,气体离子与靶材相互作用,离子不断的撞击靶表面,靶材从靶表面被轰击下来然后在靶附近的基片(玻璃)上沉积下来,凝结成一层薄膜。
真空度:真空度是指处于真空状态下气体的稀薄程度,用压强表示,压强越低,其稀薄程度越大,真空度越高。镀膜过程中,真空度主要通过控制ya气流量来改变。
有机镀膜与无机镀膜的根本区别
有机物王要指含有碳、氢两种元素的化合物,容易氧化、可燃烧、会降解。有机物的熔点较低,一般不超过400℃,热稳定性差,容易受热分解。比如含有j基(Me化学式-CH3)的化合物,因成分中含有碳氢基团,都属于有机类物质。通过镀膜可以改变基片的某些属性,如光学性能、电学性能、机械性能、化学性能、装饰性能等。无机物指不含碳元素的纯净物,其特点:1。一般不含碳元素2。分子较小3。通常不可燃烧。如二氧化硅(SiO2),中文别名r石英砂,属于无机物。二氧化硅Sio2的熔点、沸点较高(熔点1723℃,沸点2230℃)。
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